檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "Nanoimprint Lithography".ekeyword (精準) and year="103"
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氮化鎵材料生長在藍寶石基板難以劈裂,本論文研究以非劈裂式方法製作邊射型雷射共振腔反射面,用黃光微影與乾式蝕刻定義出共振腔的區域,並以奈米壓印微影技術取代電子束微影技術製作氮化鎵分佈回饋式雷射的光柵結…
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在技術研發初期能有效分析該特定領域的專利,歸納出可能的研發路徑,並且了解到競爭對手的專利佈局策略及技術發展,對於研發計畫的擬定是極為重要的。本文將分析研究專利技術路徑,並以奈米轉印技術為主題進行整體…